Repository hosted by TU Delft Library

Home · Contact · About · Disclaimer ·
 

Outlook for NanoInside Theme "3D nano-structuring and metrology"

Publication files not online:

Author: Kruit, P. · Kroon, M.G.M. de · Maas, D.J. · Baumer, S.M.B. · Spruit, W.E.T.
Type:report
Date:2017
Publisher: TNO TU Delft
Place: Delft
Identifier: 753043
Keywords: Nanotechnology · High Tech Systems & Materials · Industrial Innovation · Nano Technology · NI - Nano Instrumentation OPT - Optics · TS - Technical Sciences

Abstract

Het vakgebied van 3D nano-structurering en metrologie ontwikkelt zich razendsnel, zowel in Nederland als in de rest van de wereld. Het niveau van de Nederlandse betrokken onderzoekers, kennisinstituten en bedrijven is van wereldklasse. Veel Nederlandse academische groepen, kennisinstituten en bedrijven zijn wereldkampioen in hun eigen nano-arena. Een pragmatische driedeling van het veld in clusters is: a) Nanomaterialen - “3D nano in grotere volumes” Fabricage en toepassing van nieuwe, zich herhalende functionele nanostructuren op grote oppervlaktes en volumes, ten behoeve van bijvoorbeeld efficiëntere zonnecellen, katalysatoren of gepersonaliseerde biomedische diagnostiek. Opschaling gaat gepaard met grote uitdagingen in het kosteneffectief maken van grootschalig aanbrengen van functionele 3D nano-structuren; b) Halfgeleider industrie - “3D nano voor de ICT” Continuering van apparatuurontwikkeling voor patroneren, opmeten en materiaalanalyse voor de volgende generatie(s) ICs, welke steeds complexere 3D-nanostructuren (“schakelaars”) gaan bevatten. Dit stelt steeds hogere eisen aan structurering- en metrologie- en analyse- instrumentatie. Grote thema’s zijn, naast “More Moore”, “Hybride metrologie voor geavanceerde proces controle” en “Metrologie: van precisie naar nauwkeurigheid”; c) Lab-schaal nano R&D - “3D nano in het lab” Technologieverbetering voor nano-patronering, metrologie en analyse op de sub-10 nm schaal, om doorbraken te bedienen in technisch-wetenschappelijke toepassingen zoals e.g. quantum computing, moleculaire geheugens, supergeleidende detectoren, et cetera. De reproduceerbaarheid van de processen is vaak ordes slechter dan bij halfgeleider technologie, hetgeen zowel een uitdaging als een kans is voor innovatie.