Library
search
local_library
Repository
H
HJ Voorma
View Pure Profile
Authored
3 records found
Fabrication and analysis of Exteme Ultra-violet reflection masks with patterned W/C absorber bilayers
Journal article -
HJ Voorma
,
E Louis
,
J Friedrich
,
NB Koster
,
LA Smaenok
,
F Bijkerk
,
T Zijlstra
,
LEM de Groot
,
E.W.J.M. van der Drift
,
BAC Rousseeuw
,
J Romijn
Mo/Si multilayer optics for micro-lithography
Doctoral thesis -
HJ Voorma
Extreme UV Lithography: Development of a laser plasma source and multilayer reflective optics
Journal article -
F Bijkerk
,
LA Shmaenol
,
T Zijlstra
,
E Louis
,
HJ Voorma
,
NB Koster
,
FA van Goor
,
J van Spijker
,
E.W.J.M. van der Drift
,
J Romijn
,
BAC Rousseeuw