Library
search
local_library
Repository
EL
E Louis
View Pure Profile
Authored
4 records found
Formation of Si/SiC multilayers by low-energy ion implantation and thermal annealing
Journal article -
S Dobrovolskiy
,
AE Yakshin
,
F.D. Tichelaar
,
J Verhoeven
,
E Louis
,
F Bijkerk
Interface roughness in Mo/Si multilayers
Journal article -
I Nedelcu
,
RWE van de Kruijs
,
AE Yakshin
,
F.D. Tichelaar
,
E Zoethout
,
E Louis
,
H Enkisch
,
S Muellender
,
F Bijkerk
Fabrication and analysis of Exteme Ultra-violet reflection masks with patterned W/C absorber bilayers
Journal article -
HJ Voorma
,
E Louis
,
J Friedrich
,
NB Koster
,
LA Smaenok
,
F Bijkerk
,
T Zijlstra
,
LEM de Groot
,
E.W.J.M. van der Drift
,
BAC Rousseeuw
,
J Romijn
Extreme UV Lithography: Development of a laser plasma source and multilayer reflective optics
Journal article -
F Bijkerk
,
LA Shmaenol
,
T Zijlstra
,
E Louis
,
HJ Voorma
,
NB Koster
,
FA van Goor
,
J van Spijker
,
E.W.J.M. van der Drift
,
J Romijn
,
BAC Rousseeuw