Library
search
local_library
Repository
LS
LA Shmaenol
View Pure Profile
Authored
1 records found
Extreme UV Lithography: Development of a laser plasma source and multilayer reflective optics
Journal article -
F Bijkerk
,
LA Shmaenol
,
T Zijlstra
,
E Louis
,
HJ Voorma
,
NB Koster
,
FA van Goor
,
J van Spijker
,
E.W.J.M. van der Drift
,
J Romijn
,
BAC Rousseeuw