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EK
E Koch
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1
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In situ Messmethode zum Monitoren der Qualitat optischer Oberflachen wahrend des Polierens auf der Maschine und Ihre Anwendung zum Klassifizieren von Polierprozessen
Book chapter (2002) -
OW Faehnle
,
T Wons
,
E Koch
,
S. Debruyne-Fisba
,
SM Booij
,
M Meeder
,
H van Brug
,
J.J.M. Braat
iTIRM as a tool for qualifying polishing processes
Journal article (2002) -
OW Faehnle
,
T Wons
,
E Koch
,
S Debruyne
,
M Meeder
,
SM Booij
,
J.J.M. Braat
