Person | TU Delft Repository

Improvement of wettability of silicon nitride in PECVD environment for copper electrodeposition in HAR vias

Conference paper - M Saadaoui, W.H.A. Wien, H.W. van Zeijl, A. van den Bogaard, Pasqualina M Sarro

Conference paper - S Milosavljevi¿, H. Schellevis, A. van den Bogaard, T.L.M. Scholtes, J.M.W. Laros, C.R. de Boer, E.J.G. Goudena, L.K. Nanver

Conference paper - WD van Noort, L.K. Nanver, C.C.G. Visser, A. van den Bogaard, JW Slotboom

Conference paper - C.C.G. Visser, L.K. Nanver, A. van den Bogaard

Conference paper - R Li, A. van den Bogaard, R. Dekker

Journal article - M Griglione, TJ Anderson, ME Law, KS Jones, A. van den Bogaard, M Puga-Lambers

Journal article - M Griglione, TJ Anderson, YM Haddara, ME Law, KS Jones, A. van den Bogaard

Conference paper - J van der Marel, RW Hollander, C.W.E. van Eijk, A. van den Bogaard, Pasqualina M Sarro

Conference paper - J van der Marel, RW Hollander, C.W.E. van Eijk, A. van den Bogaard, Pasqualina M Sarro

Conference paper - J van der Marel, A. van den Bogaard, C.W.E. van Eijk, RW Hollander, NJ Noordhoek, Pasqualina M Sarro, VCFB Scheerhoorn

Conference paper - H Valk, EA Hijzen, J.T.M. de Haas, RW Hollander, C.W.E. van Eijk, Pasqualina M Sarro, A. van den Bogaard

Conference paper - H Valk, EA Hijzen, J. Huizenga, C.W.E. van Eijk, RW Hollander, L.K. Nanver, Pasqualina M Sarro, A. van den Bogaard, J Slabbekoorn